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气浮XY运动平台

沉复定位精度±100nm

直线度±1um

高动态响应个性

低静态抖动

急剧整定

支持非标定造

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行程

300*300mm

分辨率

20nm

绝对定位精度

±300nm

沉复定位精度

±100nm

速度

1m/s

加快度

1G

地位不变性

±20nm

行走平面度

±1um

直线度

±1um

Pitch

±2arcsec

Yaw

±2arcsec

Roll

±2arcsec

XY正交度

±1μm
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